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超高精度壓力傳感器的響應頻率取決于三個重要因素

發布時間:2021-06-11點擊次數:2457次
  超高精度壓力傳感器的響應頻率取決于三個重要因素:1、傳感器的固有頻率。2、傳感器的封裝方式。3、變送電路的頻率響應帶寬。
 
  首先,傳感器的固有頻率是取決于傳感器敏感元的材料及結構的物理特性,在傳感器芯片生產過程中已經定型,無法通過后期的處理而改變,所以固有頻率一般只作為動態壓力傳感器參數的一個物理性指標,在傳感器的選型和應用中沒有太大的實際意義。壓力傳感器采用德國進口微機械加工技術的壓力敏感元件,具有*的固有頻率,(固有頻率可達1-2MHz),產品的各項參數指標均性能優良。
 
  其次,傳感器的封裝是決定傳感器響應頻率的重要過程。相同固有頻率的傳感器芯片,采用不同的封裝方式,直接影響傳感器能夠使用的頻響范圍。壓力傳感器通常采用準齊平封裝方式,盡可能的減小管腔效應帶來的頻響損失,提高產品的頻率響應。
 
  第三,傳感器封裝完成,需要配合后續的采集設備,實現動態壓力的復現。由于傳感器本身輸出信號是幾十毫伏的非標準的電信號,如果直接采集該信號,對后續的采集設備要求較高,而且小信號不利于長距離傳輸,易受到外界環境的干擾,影響測量的真實性,所以通常會將幾十毫伏的微小信號經過放大處理,轉換成標準的電壓信號。那么在這個轉換過程中就要求電路要有足夠高的響應帶寬,足夠短的上升時間,才能不失真的復現壓力變化過程。
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